SF6充气柜真空箱测漏设备-测漏设备-北京科仪创新

氦质谱检漏仪的主要及时指标

科仪是生产氦质谱检漏仪的厂家，用于电厂检漏。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，测漏设备，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。今天科仪的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪的主要及时指标。

1. 较小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s

2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 启动时间：≤5min

4. 响应时间：≤1s

5. 检漏口的较高压力：1500Pa

6. 电源要求：220v，50Hz，充气柜测漏设备，单相，10A

7. 工作环境：5-35℃

8. 相对湿度：≤80%

9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）

10. 重量：64kg

以上就是关于氦检漏的相关内容介绍，如有需求，冷却测漏设备，欢迎拨打图片上的热线电话！

氦质谱检漏仪的主要配置

科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，SF6充气柜真空箱测漏设备，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。今天科仪的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的主要配置有哪些，希望对您有所帮助！

1. 检漏仪分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱模块

以上是科仪为您一起分享的内容，科仪生产氦检漏，欢迎新老客户莅临。

氦质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展，氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。